多功能扫描探针显微镜主要特点介绍：
1、多功能测量：能实现高分辨的形貌测量，除用于测量各种物质的表面形貌外，能测量多种材料如无机物非金属材料、金属材料、高分子材料、复合材料和生物材料的多种物性，包括磁力、摩擦力、粘弹性、表面电位势、静电力、压电响应、电流像、电流隧道谱、电容等等。
2、液体及电化学环境测量：实现液体环境下进行接触式和轻敲式AFM测量以及电化学环境中进行AFM及STM测量。
3、*的功能（详细功能介绍请参见下述功能模式介绍）：
4、精密的设计：系统包含防震和隔音设备，满足一般条件下进行各种高分辨的测量；并可与多种设备联用，如纳米力学系统、铁电分析仪等。
多功能扫描探针显微镜结合X射线能谱仪在化学、物理、材料学、生物、医学等领域的应用中,具有非常重要的地位。本文主要介绍了扫描电子显微镜及X射线能谱仪的工作原理、结构特点,并对仪器的维护与使用方面进行了一定的介绍,与广大同行进行探讨。
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